Circuits et composants électroniques

Appelés MEMS (Micro ElectroMecanichal Systems), les microsystèmes électromécaniques combinent des fonctions mécaniques et électroniques. Ils sont réalisés en utilisant les mêmes matériaux que les semi-conducteurs et permettent une intégration poussée grâce à la cohabitation de fonctions mécaniques (moteur), optique (miroir) voire biochimique, à même le substrat sur lequel sont réalisés les circuits électroniques de contrôle et d'interface de ces systèmes. Les principaux avantages sont une plus grande intégration des composants, une fiabilité accrue (en limitant le nombre de composants et les interfaces entre eux) et d'autre part des coûts de réalisation et d'emballage réduits...