Vakuumtechnik - Technik.
Publié le 11/06/2013
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zunutze, dass die Wärmeleitfähigkeit eines Gases der Anzahl der vorhandenen Gasmoleküle – also dem absoluten Druck – proportional ist.
Es umfasst den Messbereich voneinem Millibar bis 10 -6 Bar.
Der Messbereich des Ionisationsvakuummeters reicht von Atmosphärendruck bis zu 10 -6 Bar.
Hochvakuum wird über einen elektrischen Entladungsstrom des ionisierten Gases gemessen, das man erhält, wenn man die Gasmoleküle mit Elektronen beschießt.
Die beiden Messgeräte, die sich diese Grundlagezunutze machen, sind das Heißkathoden- und das Kaltkathoden-Entladungsvakuummeter.
Das Erstere deckt einen Messbereich von 10 -4 bis 10 -14 Bar, Zweiteres den Bereich von 10 -5 bis 10 -10 Bar ab.
Wenn das Vakuum in den Bereich des Ultrahochvakuums kommt, wird die Messung des Druckes zunehmend komplizierter.
Drücke von 10-15 Bar und weniger werden mit speziell für diese Zwecke geeigneten Massenspektrometern gemessen.
Alle Vakuummeter, die sich für ihre Messungen auf Wärmeleitung oder Gasionenentladung stützen, sprechen auf verschiedene Gase unterschiedlich an; folglich werden sie gewöhnlicherweise gegen trockene Luft kalibriert, wobei einMcLeod-Vakuummeter als Referenznormal dient.
Pumpen, Ventile, Arbeitsschritte und Druckschutzschleusen werden mittels elektrischer Baugruppen gesteuert, die in einer Steuereinheit in der Nähe der Vakuumapparaturuntergebracht sind.
Die Steuerung kann von Hand oder durch einen Computer erfolgen.
Dampfsperren und Kühlfallen werden vielfach in den vakuumseitigen Rohrleitungeneingesetzt, um unerwünschte Rückströmungen einzelner Gasmoleküle von den Pumpen in die Arbeitskammer zu verhindern.
Es gibt zwar Systeme, die beiUmgebungstemperatur arbeiten, die meisten aber werden auf die Temperaturen von Trockeneis oder Flüssigstickstoff heruntergekühlt, so dass sich die Gasmoleküle an denOberflächen niederschlagen.
Andere Bestandteile von Vakuumsystemen sind Ventile, Rohrleitungen und -verbindungen, die leckfrei, also völlig gasdicht beschaffen seinmüssen.
Siehe auch Luftkompressor
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